積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの構造設計のための粘性定数モデルの検討
English:

Author

Japanese:	小西敏文, 山根大輔, 佐布晃昭, 曽根正人, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
English:	Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Masato Sone, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 31, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第9回集積化MEMSシンポジウム
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Conference site

Japanese:	広島県
English:

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