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Publication Information


Title
Japanese:ナノインデンテーション装置によるナノ粒子圧縮試験における圧子形状の影響 
English: 
Author
Japanese: 室伏 梨穂, 青野 祐子, 平田 敦.  
English: Yuko Aono, Yuko Aono, ATSUSHI HIRATA.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
English: 
Volume, Number, Page         pp. 87-88
Published date Mar. 14, 2017 
Publisher
Japanese:公益社団法人 精密工学会 
English: 
Conference name
Japanese:2017年度精密工学会春季大会学術講演会 
English: 
Conference site
Japanese: 
English: 
Abstract ナノ粒子の機械的性質を評価するため，先端曲率半径150nmのバーコビッチ圧子と，1μmのコニカル圧子を用いた走査型プローブ顕微鏡(SPM)複合型ナノインデンテーション装置による圧縮破壊試験法を試みた．シリカ粒子の圧縮試験において，バーコビッチ圧子を用いた場合は破壊点に近付くにつれて荷重-変位線図の傾きが小さくなる傾向を確認し，その原因が圧子先端半径および形状に由来することを明らかにした．

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