集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム

Publication Information

Title

Japanese:	集積化CMOS-MEMS技術による高感度慣性センサと応用システム
English:

Author

Japanese:	伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 曽根正人, 三宅美博, 益一哉.
English:	Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 17, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第64回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English: