積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)

Publication Information

Title

Japanese:	積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討(2)
English:

Author

Japanese:	古賀達也, 高安基大, 山根大輔, 伊藤浩之, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
English:	Tatsuya Koga, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Toshifumi Konishi, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 17, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第64回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English: