Home >

news Help

Publication Information


Title
Japanese:バイポーラPBII 法によるマイクロトレンチへのDLC コーティングおよびプラズマ挙動解析 
English: 
Author
Japanese: 平田祐樹, 下園隼人, 崔埈豪.  
English: Yuki Hirata, 下園隼人, Junho Choi.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:第55 回真空に関する連合講演会 予稿集 
English: 
Volume, Number, Page        
Published date Nov. 2014 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese:第55 回真空に関する連合講演会 
English: 
Conference site
Japanese:大阪府 
English: 

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.