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Publication Information


Title
Japanese:バイポーラPBII 法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング―膜の構造および機械的特性評価 
English: 
Author
Japanese: 平田祐樹, 大西弘益, 加藤孝久, 崔埈豪.  
English: Yuki Hirata, 大西弘益, Takahisa Kato, Junho Choi.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:第54 回真空に関する連合講演会 予稿集 
English: 
Volume, Number, Page        
Published date Nov. 2013 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese:第54 回真空に関する連合講演会 
English: 
Conference site
Japanese:茨城県 
English: 

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