スパッタリング法による{100}配向Y2O3-HfO2強誘電体エピタキシャル薄膜の作製とその評価

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタリング法による{100}配向Y2O3-HfO2強誘電体エピタキシャル薄膜の作製とその評価
English:

Author

Japanese:	鈴木大生, 三村和仙, 清水荘雄, 内田寛, 舟窪浩.
English:	Taisei Suzuki, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 5, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	福岡市
English: