エピタキシャル成長したHfO2 基強誘電体膜における結晶構造の膜厚依存性

Publication Information

Title

Japanese:	エピタキシャル成長したHfO2 基強誘電体膜における結晶構造の膜厚依存性
English:

Author

Japanese:	三村和仙, 清水荘雄, 木口賢紀, 赤間章裕, 今野豊彦, 勝矢良雄, 坂田修身, 舟窪浩.
English:	Takanori Mimura, Takao Shimizu, Takanori Kiguchi, 赤間章裕, Toyohiko Konno, Yoshio Katsuya, Osami Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 15, 2018

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会 2018年年会
English:

Conference site

Japanese:	仙台市
English: