単一の圧電振動子によって駆動する微粒子励振型三方弁の特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	単一の圧電振動子によって駆動する微粒子励振型三方弁の特性評価
English:

Author

Japanese:	山本陽光, 神田岳文, 尾崎隼人, 脇元修一, 橋本航, 高見春人, 妹尾典久, 鈴森康一, 浮田貴宏, 難波江裕之.
English:	山本陽光, Takefumi Kanda, 尾崎隼人, Shuichi Wakimoto, 橋本航, 高見春人, Norihisa Seno, Koichi Suzumori, Takahiro Ukida, Hiroyuki Nabae.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2018年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 5, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	北海道函館
English:

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