物理気相成長法を用いたa-BCN膜の作製と評価

Publication Information

Title

Japanese:	物理気相成長法を用いたa-BCN膜の作製と評価
English:

Author

Japanese:	竹内亮大郎, 岩本喜直, 河越雅雄, 谷口紘章, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
English:	Ryotaro Takeuchi, Yoshinao Iwamoto, Masao Kawagoe, Hiroyuki Taniguchi, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2019年度精密工学会春季大会公演論文集
English:

Volume, Number, Page

pp. 151-152

Published date

Mar. 13, 2019

Publisher

Japanese:	精密工学会
English:

Conference name

Japanese:	2019年度精密工学会春季大会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: