カソード加熱型RIE装置により窒素プラズマ処理したTi薄膜およびバルクTiO2の透過率測定

Publication Information

Title

Japanese:	カソード加熱型RIE装置により窒素プラズマ処理したTi薄膜およびバルクTiO2の透過率測定
English:

Author

Japanese:	長谷部浩一, 佐藤美那, 松谷晃宏, 竹島利彦, 磯部敏宏, 中島章, 松下祥子.
English:	KOICHI HASEBE, Mina Sato, Akihiro Matsutani, Toshihiko Takeshima, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Sachiko Matsushita.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

11p-PA2-9

Published date

Mar. 2019

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第66回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:
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