超微細ライン＆スペース金属素子の効率的作製法の提案

Publication Information

Title

Japanese:	超微細ライン＆スペース金属素子の効率的作製法の提案
English:

Author

Japanese:	池田光輝, 岡田直樹, 寺野元規, 吉野雅彦.
English:	池田光輝, 岡田直樹, Motoki Terano, MASAHIKO YOSHINO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	平成29年度日本塑性加工学会中国・四国支部第18回学生研究発表会
English:

Volume, Number, Page

p. 25-26

Published date

2019

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	平成29年度日本塑性加工学会中国・四国支部第18回学生研究発表会
English:

Conference site

Japanese:	広島市
English: