PLD法による窒素ドープ酸化ガリウム薄膜の成長と電気特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	PLD法による窒素ドープ酸化ガリウム薄膜の成長と電気特性評価
English:

Author

Japanese:	李政洙, 若林諒, 斉藤拓海, 吉松公平, 加渡Kado, 大友明.
English:	Jung-Soo Lee, Ryo Wakabayashi, Takumi Saito, Kohei Yoshimatsu, Motohisa 幹尚, Akira Ohtomo.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

Mar. 2019

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	第66回応用物理学会春季学術講演会
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Conference site

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