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Publication Information


Title
Japanese:Hf混晶化によるPtSiの高精度仕事関数制御に関する検討 
English: 
Author
Japanese: 高 峻, 石川 純平, 大見俊一郎.  
English: 高 峻, 石川 純平, Shun-ichiro OHMI.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 
English: 
Volume, Number, Page Vol. 110    No. 241    pp. 17-20
Published date Oct. 14, 2010 
Publisher
Japanese:一般社団法人電子情報通信学会 
English: 
Conference name
Japanese: 
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Conference site
Japanese: 
English: 

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