大気中での表面改質によるシリコーンとガラスの固体間直接接着法

Publication Information

Title

Japanese:	大気中での表面改質によるシリコーンとガラスの固体間直接接着法
English:

Author

Japanese:	岡田渉, 山本貴富喜.
English:	岡田渉, Takatoki Yamamoto.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society
English:

Volume, Number, Page

Vol. 131 No. 4 pp. 159-164

Published date

Apr. 1, 2011

Publisher

Japanese:	The Institute of Electrical Engineers of Japan
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Conference name

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Conference site

Japanese:
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DOI