J2240201 PZT薄膜及びナノロッドの圧電特性に及ぼす基板拘束の影響([J224-02]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術 マイクロ・ナノ実験力学と機能材料)

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Title

Japanese:	J2240201 PZT薄膜及びナノロッドの圧電特性に及ぼす基板拘束の影響([J224-02]『マイクロ・ナノ機械の信頼性』のための材料創製・測定・解析技術マイクロ・ナノ実験力学と機能材料)
English:

Author

Japanese:	山田智明, 安本洵, 坂田修身, 吉野正人, 長崎正雅, 舟窪浩.
English:	山田智明, 安本洵, 坂田修身, 吉野正人, 長崎正雅, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	年次大会 : Mechanical Engineering Congress, Japan
English:

Volume, Number, Page

Vol. 2014 pp. "J2240201-1"-"J2240201-2"

Published date

Sept. 7, 2014

Publisher

Japanese:	一般社団法人日本機械学会
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Conference name

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Conference site

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