アーク蒸着とマグネトロンスパッタリングを重畳した気相成長法により作製したα-BCN膜の評価

Publication Information

Title

Japanese:	アーク蒸着とマグネトロンスパッタリングを重畳した気相成長法により作製したα-BCN膜の評価
English:

Author

Japanese:	竹内亮大郎, 岩本喜直, 河越雅雄, 谷口紘章, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
English:	Ryotaro Takeuchi, Yoshinao Iwamoto, Masao Kawagoe, Hiroyuki Taniguchi, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第33回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
English:

Volume, Number, Page

pp. 34-35

Published date

Nov. 13, 2019

Publisher

Japanese:	一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム
English:

Conference name

Japanese:	第33回ダイヤモンドシンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: