二元同時スパッタ法で作製したAeSi2 膜(Ae= Ca, Sr, Ba)の構成相と電気特性

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Title

Japanese:	二元同時スパッタ法で作製したAeSi2 膜(Ae= Ca, Sr, Ba)の構成相と電気特性
English:	二元同時スパッタ法で作製したAeSi2 膜(Ae= Ca, Sr, Ba)の構成相と電気特性

Author

Japanese:	青山航大, 清水荘雄, 倉持豪人, 召田雅実, 秋池良, 井手啓介, 片瀬貴義, 神谷利夫, 舟窪浩.
English:	青山航大, 清水荘雄, 倉持豪人, 召田雅実, 秋池良, 井手啓介, 片瀬貴義, 神谷利夫, 舟窪浩.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Published date

Jan. 9, 2020

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会第58回セラミックス基礎科学討論会
English:	日本セラミックス協会第58回セラミックス基礎科学討論会

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