FinFET応用に向けた選択成長GaNチャネルの電気特性

Publication Information

Title

Japanese:	FinFET応用に向けた選択成長GaNチャネルの電気特性
English:

Author

Japanese:	濱田拓也, 向井勇人, 高橋言緒, 井手利英, 清水三聡, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, 岩井洋, 筒井一生.
English:	Takuya Hamada, Hayato Mukai, 高橋言緒, 井手利英, 清水三聡, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hitoshi Wakabayashi, HIROSHI IWAI, KAZUO TSUTSUI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Aug. 30, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第82回半導体・集積回路シンポジウム
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: