立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング

Publication Information

Title

Japanese:	立体チャネルトランジスタ応用に向けた選択成長GaNの異方性エッチング
English:

Author

Japanese:	向井勇人, 濱田拓也, 高橋言緒, 井出利英, 清水三聡, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, 岩井洋, 筒井一生.
English:	Hayato Mukai, Takuya Hamada, 高橋言緒, 井出利英, 清水三聡, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hitoshi Wakabayashi, HIROSHI IWAI, KAZUO TSUTSUI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 18, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	名古屋
English: