シリコン縦型パワーデバイスへのひずみ導入によるオン抵抗低減の研究

Publication Information

Title

Japanese:	シリコン縦型パワーデバイスへのひずみ導入によるオン抵抗低減の研究
English:

Author

Japanese:	井上毅哉, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, 岩井洋, 筒井一生.
English:	Takeya Inoue, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, Hitoshi Wakabayashi, HIROSHI IWAI, KAZUO TSUTSUI.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 2019

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第80回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	北海道
English: