COP基板におけるリピート熱ナノインプリントによる表面平坦化と導電性酸化物薄膜の堆積

Publication Information

Title

Japanese:	COP基板におけるリピート熱ナノインプリントによる表面平坦化と導電性酸化物薄膜の堆積
English:	Surface flattening of COP substrate by repeat thermal nanoimprint for growth of conductive oxide thin films

Author

Japanese:	大賀友瑛, 大島淳史, 金子奈帆, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Tomoaki Oga, Atsushi Oshima, Naho Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Feb. 28, 2020

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第67回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 67th JSAP Spring Meeting 2020

Conference site

Japanese:	東京都
English:	Tokyo

Official URL