熱ナノインプリントによるフッ素樹脂・PET等ポリマーシートのナノレベル表面パターニングと機能性薄膜堆積

Publication Information

Title

Japanese:	熱ナノインプリントによるフッ素樹脂・PET等ポリマーシートのナノレベル表面パターニングと機能性薄膜堆積
English:	Surface nano patterning of fluoropolymer and PET sheets by thermal nanoimprint for deposition of functional thin films

Author

Japanese:	金子奈帆, 大賀友瑛, 大島淳史, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Naho Kaneko, Tomoaki Oga, Atsushi Oshima, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Feb. 28, 2020

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第67回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 67th JSAP Spring Meeting 2020

Conference site

Japanese:	東京都
English:	Tokyo

Official URL