100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討

Publication Information

Title

Japanese:	100 nG/√Hzレベルを目指したピラー型電極を有する単一Au錘3軸MEMS加速度センサの検討
English:

Author

Japanese:	市川崇志, 渥美賢, 古賀達也, 飯田慎一, 石原昇, 町田克之, 益一哉, 伊藤浩之.
English:	Takasi Itikawa, Ken Atsumi, Sayaka Koga, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroyuki Ito.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 2020

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第81回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:
English: