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Publication Information


Title
Japanese:換算電界から求めた電子エネルギー分布関数による大気圧非平衡N2プラズマの連続スペクトル解析 
English:Emission spectrum analysis of atmospheric-pressure non-equilibrium N2plasmausing electron energy distribution function calculated by reduced electric field 
Author
Japanese: 城井智弘, 根津篤, 赤塚洋.  
English: Tomohiro Shiroi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:令和３年電気学会全国大会講演論文集 
English:Proceedings of The 2021 Annual Meeting IEE of Japan 
Volume, Number, Page         p. 66
Published date Mar. 9, 2021 
Publisher
Japanese:一般社団法人 電気学会 
English:The Institute of Electrical Engineers of Japan 
Conference name
Japanese:令和3年電気学会全国大会 
English:The 2021 Annual Meeting IEE of Japan 
Conference site
Japanese: 
English: 
Official URL https://gakkai-web.net/iee/program/2021/data/html/general/general1.html#SWEB10-A3
 
Abstract 近年、大気圧非平衡プラズマ源が開発され、実用上の応用が可能になるまで改良が進んできた。このプラズマは電子温度が高くガス温度が低いため、有機材料など高温に弱い低融点のものに照射することができる。幅広い分野への応用が期待されている一方で、非平衡であるため重要なプラズマパラメータである「電子温度」計測の報告例が少ない。 そこで、本研究では発光分光計測によって大気圧N2非平衡プラズマのスペクトル計測を行い、電子・原子の制動放射現象による連続スペクトルを換算電界から求めた電子エネルギー分布関数を用いて解析することで電子温度を算出し、検討を行う。

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