医用MEMSデバイス応用に向けた 微小貴金属めっき材料の機械的特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	医用MEMSデバイス応用に向けた微小貴金属めっき材料の機械的特性評価
English:

Author

Japanese:	曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, 名越貴志, 町田克之, 山根大輔, 伊藤浩之, 益一哉.
English:	Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	日本金属学会 2021年春季講演大会
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 19, 2021

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本金属学会 2021年春季講演大会
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Conference site

Japanese:
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