熱ナノインプリントによるナノパターンを有するポリマー基板上へのリン酸Ca系薄膜の堆積

Publication Information

Title

Japanese:	熱ナノインプリントによるナノパターンを有するポリマー基板上へのリン酸Ca系薄膜の堆積
English:

Author

Japanese:	金子奈帆, 大賀友瑛, 大島淳史, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Naho Kaneko, Tomoaki Oga, Atsushi Oshima, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Feb. 26, 2021

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第68回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 68th JSAP Spring Meeting 2021

Conference site

Japanese:
English:

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