紫外レーザーアニーリングによる種々の不純物をドープしたβ-Ga2O3薄膜の固相結晶化と特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	紫外レーザーアニーリングによる種々の不純物をドープしたβ-Ga2O3薄膜の固相結晶化と特性評価
English:

Author

Japanese:	渡邉一樹, 松島拓海, 大賀友瑛, 土嶺信男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Kazuki Watanabe, Takumi Matsushima, Tomoaki Oga, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Feb. 26, 2021

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第68回応用物理学会春季学術講演会
English:	The 68th JSAP Spring Meeting 2021

Conference site

Japanese:
English:

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