平面処理用シャワーヘッド型大気圧マルチガスプラズマ装置の開発

Publication Information

Title

Japanese:	平面処理用シャワーヘッド型大気圧マルチガスプラズマ装置の開発
English:

Author

Japanese:	野口剛, 山崎顕一, 末永祐磨, 柳川由紀, 光原一朗, 沖野晃俊.
English:	Tsuyoshi Noguchi, Kenichi Yamazaki, Yuma Suenaga, Yuki Yanagawa, Ichiro Mitsuhara, AKITOSHI OKINO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

Aug. 27, 2021

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	電気学会東京支部第11回学生研究発表会
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Conference site

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