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Publication Information


Title
Japanese:プラズマ計測技術の基礎・応用の最近の動向 
English: 
Author
Japanese: 赤塚 洋.  
English: HIROSHI AKATSUKA.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese:第32回プラズマエレクトロニクス講習会 プラズマプロセスの基礎と先端応用技術 
English: 
Volume, Number, Page         pp. 19-38
Published date Nov. 12, 2021 
Publisher
Japanese:公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 
English: 
Conference name
Japanese:第32回プラズマエレクトロニクス講習会 プラズマプロセスの基礎と先端応用技術 
English: 
Conference site
Japanese: 
English: 
Official URL https://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/kousyu2021/R03_32nd_PE-lecture.pdf
 
Abstract プロセスプラズマの計測方法と，実践的データ解釈法を講述する。前半はプローブ計測〜代表的なラングミュア シングル/ダブルプローブによる電子温度・密度測定や，電子エネルギー分布関数の導出について講義を行う。後半は発光分光計測〜線スペクトルによる電子温度・密度，回転温度計測や，ラジカル密度計測法を述べ，さらに「素過程に基づく分光データ解釈」について説明する。最後に，大気圧非平衡プラズマの計測を目指した最近の研究を紹介する。

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