FCVA法により三次元構造物へコーティングされたta-C 膜の表面特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	FCVA法により三次元構造物へコーティングされたta-C 膜の表面特性評価
English:

Author

Japanese:	藤本隼汰, 石川功, 川合功太郎, 加藤豊大, 赤坂大樹, 平田祐樹, 大竹尚登, 松岡広成.
English:	藤本隼汰, 石川功, Kotaro Kawai, Toyohiro Kato, Hiroki Akasaka, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE, 松岡広成.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

Mar. 3, 2022

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	日本機械学会中国四国学生会第52回学生員卒業研究発表講演会
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Conference site

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