PVD法により作製したBCN膜の構造及び耐熱性評価

Publication Information

Title

Japanese:	PVD法により作製したBCN膜の構造及び耐熱性評価
English:	Structural and thermal properties of BCN film by PVD method

Author

Japanese:	吉井寛太, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
English:	Kanta Yoshii, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2022年度精密工学会春季大会学術講演会要綱集
English:	Abst. book: The Japan Society for Precision Engineering Spring Meeting 2022

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 15, 2022

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2022年度精密工学会春季大会学術講演会第29回学⽣会員卒業研究発表講演会
English:	The Japan Society for Precision Engineering Spring Meeting 2022

Conference site

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