紫外レーザーアニールによるポリマー基板上β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>高配向膜の作製

Publication Information

Title

Japanese:	紫外レーザーアニールによるポリマー基板上β-Ga₂O₃高配向膜の作製
English:

Author

Japanese:	甲斐稜也, 渡邉一樹, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Ryoya Kai, Kazuki Watanabe, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 25, 2022

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	第69回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	神奈川県相模原市
English:

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