エピタキシャルNiO薄膜の物性および構造に及ぼすエキシマ真空紫外光照射の影響

Publication Information

Title

Japanese:	エピタキシャルNiO薄膜の物性および構造に及ぼすエキシマ真空紫外光照射の影響
English:

Author

Japanese:	金子健太, 庄司拓貴, 大賀友瑛, 金子智, 吉本護, 松田晃史.
English:	Kenta Kaneko, Hiroki Shoji, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO, Akifumi Matsuda.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 12, 2021

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	第82回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:

Official URL