エキシマレーザーアニーリングを用いたポリマー基板上におけるGa<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の固相結晶化

Publication Information

Title

Japanese:	エキシマレーザーアニーリングを用いたポリマー基板上におけるGa₂O₃薄膜の固相結晶化
English:

Author

Japanese:	甲斐稜也, 渡邉一樹, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Ryoya Kai, Kazuki Watanabe, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 22, 2021

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:

Conference name

Japanese:	第82回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:

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