FCVA法によるta-C膜の3Dコーティング（側面に形成される膜の機械的特性評価）

Publication Information

Title

Japanese:	FCVA法によるta-C膜の3Dコーティング（側面に形成される膜の機械的特性評価）
English:

Author

Japanese:	為野悠人, 石川功, 加藤豊大, 川合功太郎, 赤坂大樹, 平田祐樹, 大竹尚登, 松岡広成.
English:	為野悠人, 石川功, Toyohiro Kato, Kotaro Kawai, Hiroki Akasaka, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE, 松岡広成.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

May 2022

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	トライボロジー会議2022 春東京
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Conference site

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