MEMS技術を用いたECFジェット用の電極対

Publication Information

Title

Japanese:	MEMS技術を用いたECFジェット用の電極対
English:	MEMS-fabricated electrode pairs for ECF jets

Author

Japanese:	金俊完, 横田眞一.
English:	Joon-wan KIM, SHINICHI YOKOTA.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	機能性流体との融合化によるフルードパワーシステムの新展開に関する研究委員会研究成果報告書
English:

Volume, Number, Page

pp. 105-108

Published date

Apr. 20, 2022

Publisher

Japanese:	一般社団法人日本フルードパワーシステム学会
English:

Conference name

Japanese:
English:

Conference site

Japanese:
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