紫外/赤外線-プラズマ同時処理に向ける透明電極誘電体バリア放電装置の開発と基礎特性評価

Publication Information

Title

Japanese:	紫外/赤外線-プラズマ同時処理に向ける透明電極誘電体バリア放電装置の開発と基礎特性評価
English:

Author

Japanese:	劉智志, 山内素明, 徐茂, 大澤泰樹, 沖野晃俊.
English:	Chishi Ryu, Motoaki Yamauchi, Mao Xu, Taiki Osawa, AKITOSHI OKINO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 23, 2022

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	仙台市
English: