パルスレーザ照射による アモルファス炭素膜の形状変化

Publication Information

Title

Japanese:	パルスレーザ照射によるアモルファス炭素膜の形状変化
English:	Shape changes in amorphous carbon films by laser irradiation

Author

Japanese:	原田大, Tunmee Sarayut, 青野祐子, Euaruksakunl Chanan, Rittihong Ukit, 平田祐樹, 大竹尚登, 赤坂大樹.
English:	Dai Harada, Sarayut Tunmee, Yuko Aono, Chanan Euaruksakunl, Ukit Rittihong, Yuki Hirata, Naoto Ohtake, Hiroki Akasaka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	応用物理学会第83回秋季講演会要旨集
English:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 20, 2022

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
English:	Abst book of The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

Conference site

Japanese:	仙台市
English:	Sendai