室温でのエキシマレーザーアニールにより作製した酸化物緩衝層付きポリマー基板上のβ-Ga2O3配向膜の構造及び光学特性の評価

Publication Information

Title

Japanese:	室温でのエキシマレーザーアニールにより作製した酸化物緩衝層付きポリマー基板上のβ-Ga2O3配向膜の構造及び光学特性の評価
English:	Structural and optical properties of oriented β-Ga2O3 thin films on oxide-buffered polymer substrates by excimer laser annealing

Author

Japanese:	甲斐稜也, 沼田拓実, 大賀友瑛, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Ryoya Kai, Takumi Numata, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 21, 2022

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

Conference site

Japanese:	宮城県仙台市
English:	Sendai

Official URL