PLD合成したアモルファス酸化バナジウム系薄膜の紫外光照射及び一軸圧縮熱処理による電気特性制御

Publication Information

Title

Japanese:	PLD合成したアモルファス酸化バナジウム系薄膜の紫外光照射及び一軸圧縮熱処理による電気特性制御
English:	Electrical property control of PLD-deposited amorphous vanadium oxide thin films by UV irradiation and uniaxial compression annealing

Author

Japanese:	大澤樹, 庄司拓貴, 金子健太, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
English:	Itsuki Osawa, Hiroki Shoji, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 21, 2022

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

Conference site

Japanese:	宮城県仙台市
English:	Sendai

Official URL