ナノインプリント法を用いたポリマー基板表面の薄膜周期パターン形成

Publication Information

Title

Japanese:	ナノインプリント法を用いたポリマー基板表面の薄膜周期パターン形成
English:	Periodic patterning of thin films on polymer substrates by using nanoimprinting

Author

Japanese:	島田侑果, 前田優斗, 大賀友瑛, 金子智, 吉本護, 松田晃史.
English:	Yuka Shimada, Yuto Maeda, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO, Akifumi Matsuda.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 23, 2022

Publisher

Japanese:	応用物理学会
English:	The Japan Society of Applied Physics

Conference name

Japanese:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

Conference site

Japanese:	宮城県仙台市
English:	Sendai

Official URL