対向ターゲット式スパッタで作製したCoFeB-SiO2薄膜を用いた長方形スパイラルインダクタ

Publication Information

Title

Japanese:	対向ターゲット式スパッタで作製したCoFeB-SiO2薄膜を用いた長方形スパイラルインダクタ
English:

Author

Japanese:	仁田帆南, 金子忠幸, 河原和馬, 石戸亮祐, 宮﨑達也, 細田尚揮, 藤﨑敬介, 中川茂樹, 高村陽太.
English:	H. Nitta, T. Kaneko, K. Kawahara, R. Ishido, T. Miyazaki, N. Hosoda, K. Fujisaki, S. Nakagawa, Y. Takamura.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

2-095

Published date

Mar. 15, 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	令和5年電気学会全国大会
English:

Conference site

Japanese:	愛知県名古屋市
English:	Nagoya

Official URL