アルミニウムスカンジウム合金(AlSc)と酸化タングステン(WOx)をソース/ドレイン電極に用いたWSe2 n/p FETとCMOSインバータ応用

Publication Information

Title

Japanese:	アルミニウムスカンジウム合金(AlSc)と酸化タングステン(WOx)をソース/ドレイン電極に用いたWSe2 n/p FETとCMOSインバータ応用
English:

Author

Japanese:	川那子高暢, 梶川亮介, 水谷一翔, Tsai Sung Lin, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
English:	Takamasa Kawanago, Ryosuke Kajikawa, Kazuto Mizutani, Sung Lin Tsai, Iriya Muneta, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 22, 2022

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
English:	83th JSAP Autumn meeting

Conference site

Japanese:	仙台市
English: