ナノインプリントプロセスを用いたポリマー基板上の金属ナノ粒子パターン形成

Publication Information

Title

Japanese:	ナノインプリントプロセスを用いたポリマー基板上の金属ナノ粒子パターン形成
English:

Author

Japanese:	島田侑果, 前田優斗, 大賀友瑛, 金子智, 吉本護, 松田晃史.
English:	Yuka Shimada, Yuto Maeda, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO, Akifumi Matsuda.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

July 6, 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:
English:	次世代リソグラフィ技術研究会

Conference site

Japanese:	東京
English: