Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討

Publication Information

Title

Japanese:	Au積層メタル技術によるMEMSデバイスのための九十九折ばね設計手法の検討
English:	Design of serpentine spring for MEMS devices by gold multi-layer metal technology

Author

Japanese:	御宿希祐, 大西哲, TENNETIDEVI, 町田克之, CHAKRABORTYP, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
English:	Kisuke Miyado, Akira Onishi, Devi.Srujana Tenneti, Katsuyuki Machida, Parthojit CHAKRABORTY, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第70回応用物理学会春季学術講演会
English:

Volume, Number, Page

16a-B410-6

Published date

Mar. 15, 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第70回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: