スパッタMoS2膜に対するエッジ金属コンタクトの電流電圧特性

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタMoS2膜に対するエッジ金属コンタクトの電流電圧特性
English:

Author

Japanese:	今井慎也, 梶川亮介, 川那子高暢, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 辰巳哲也, 冨谷茂隆, 筒井一生, 若林整.
English:	Shinya Imai, Ryosuke Kajikawa, Takamasa Kawanago, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 22, 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第84回応用物理学会秋季学術講演会
English:	84th JSAP Autumn meeting

Conference site

Japanese:	熊本市
English:	Kumamoto