ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からの アモルファス炭素膜の作製

Publication Information

Title

Japanese:	ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からのアモルファス炭素膜の作製
English:	Deposition of amorphous carbon films by magnetron sputtering with neodymium magnets

Author

Japanese:	小松原理央, 玉田耕治, 平田祐樹, 大竹尚登, 赤坂大樹.
English:	Rio Komatsubara, 玉田耕治, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE, Hiroki Akasaka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会要旨集
English:	Abst. book of The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 20, 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

Conference site

Japanese:	熊本
English: