単色化軟X 線照射によるDLC 膜の体積変化

Publication Information

Title

Japanese:	単色化軟X 線照射によるDLC 膜の体積変化
English:	Volume changes of DLC films by monochromatized soft X-ray irradiation

Author

Japanese:	三嶋友博, 森田恭司, 中西康次, 赤坂大樹, 鈴木常生, 神田一浩.
English:	三嶋友博, 森田恭司, 中西康次, Hiroki Akasaka, 鈴木常生, 神田一浩.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会要旨集
English:	Abst. book of The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

Volume, Number, Page

Published date

Sept. 20, 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 84th JSAP Autumn Meeting 2023

Conference site

Japanese:	熊本
English: