異種材料集積光回路作製に向けたパーティクルフリーリニア型プラズマによるシリコンウェハの処理

Publication Information

Title

Japanese:	異種材料集積光回路作製に向けたパーティクルフリーリニア型プラズマによるシリコンウェハの処理
English:	Silicon surface treatment by atmospheric linear type particle free plasma for fabrication of heterogeneous material integrated optical circuits

Author

Japanese:	日原弘喜, 古谷淳之介, 八井田朱音, 沖野晃俊, 西山伸彦.
English:	Koki Hihara, Junnosuke Furuya, Akane Yaida, AKITOSHI OKINO, Nobuhiko Nishiyama.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 22, 2024

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	2024年第71回応用物理学会春季学術講演
English:	The 71st JSAP Spring Meeting2024

Conference site

Japanese:	東京都
English: